WEKO3
アイテム
Sputter film deposition to fabricate thick oxide films with extremely smooth surface suitable for room-temperature bonding
http://hdl.handle.net/10097/00129726
http://hdl.handle.net/10097/0012972673d75289-0fdd-4891-bea3-04e0ca3c30ef
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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SHIMATSU-Takehito-2020Tour01-209.pdf (527.3 kB)
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© 2019 The Japan Society of Applied Physics
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-12-02 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Sputter film deposition to fabricate thick oxide films with extremely smooth surface suitable for room-temperature bonding | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||
| 著者 |
T, Saito
× T, Saito
× H, Makita
× T, Moriwaki
× Y, Suzuki
× N, Kato
× S, Wakayanagi
× A, Miura
× M, Uomoto
× T, Shimatsu
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| 書誌情報 |
Japanese Journal of Applied Physics 巻 59, 号 SB, p. SBBC02-1-SBBC02-3, 発行日 2019-11-27 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0021-4922 | |||||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 10.7567/1347-4065/ab4c85 | |||||||||||||||||||||||
| 情報源 | ||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://iopscience.iop.org/article/10.7567/1347-4065/ab4c85 | |||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 出版社サイト | |||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | IOP publishing | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 学術論文(Ariticle) | |||||||||||||||||||||||
| 登録日 | ||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2020-12-02 | |||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||
| 公開日（投稿完了日） | ||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2020-12-02 | |||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||
| 発行日 | ||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2019-11-27 | |||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||
| 公開範囲 | ||||||||||||||||||||||||
| 値 | 学外 | |||||||||||||||||||||||
| 登録者コメント | ||||||||||||||||||||||||
| 利用は私的利用（著作権法第30条）および引用（著作権法第32条）の範囲内に限られる。 | ||||||||||||||||||||||||
