@article{oai:tohoku.repo.nii.ac.jp:00138089,
 author = {間脇, 武蔵},
 issue = {1},
 journal = {東北大学電通談話会記録},
 month = {Jul},
 note = {紀要類（bulletin）},
 pages = {30--33},
 title = {高選択性半導体製造プロセスに向けた固体表面上の気体分子反応の計測技術と解析に関する研究},
 volume = {91},
 year = {2022}
}