@article{oai:tohoku.repo.nii.ac.jp:00138158,
 author = {齊藤, 宏河},
 issue = {1},
 journal = {東北大学電通談話会記録},
 month = {Jul},
 note = {紀要類（bulletin）},
 pages = {178--179},
 title = {高容量密度粗面トレンチ型SiN膜キャパシタ技術と三次元集積デバイス応用に関する研究},
 volume = {91},
 year = {2022}
}