@article{oai:tohoku.repo.nii.ac.jp:00042515,
 author = {藤森,  宏高 and 田村,  洋二 and 針田, 彬 and 井奥, 洪二 and 垣花, 眞人 and 吉村, 昌弘 and 後藤,  誠史},
 issue = {1300},
 journal = {日本セラミックス協会学術論文誌},
 month = {},
 note = {学術論文 (Article)},
 pages = {935--938},
 title = {顕微ラマン散乱による窒化アルミニウム半導体製造装置用部品の耐食性に関する研究},
 volume = {111},
 year = {2003}
}