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アイテム
ミニマルマルチターゲットスパッタリング装置の開発
http://hdl.handle.net/10097/00126540
http://hdl.handle.net/10097/001265409657d0af-32dd-4b14-96f4-950255de26c8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
0385-7719-2019-88-1-84.pdf (4.2 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-12-26 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | ミニマルマルチターゲットスパッタリング装置の開発 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||
| 著者 |
齋藤, 太地
× 齋藤, 太地
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| 書誌情報 |
東北大学電通談話会記録 巻 88, 号 1, p. 84-85, 発行日 2019-07 |
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| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 0385-7719 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 東北大学電気通信研究所 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 紀要類（bulletin） | |||||||
| 登録日 | ||||||||
| 日付 | 2019-12-26 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| 公開日（投稿完了日） | ||||||||
| 日付 | 2019-12-26 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| 発行日 | ||||||||
| 日付 | 2019-07 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
