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アイテム / 単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 ―紫外線援用テープ研削法の提案― / SHIMADA-Keita-2020Tour01-130
SHIMADA-Keita-2020Tour01-130
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2021-03-05 | |||||
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ファイル名 | SHIMADA-Keita-2020Tour01-130.pdf | |||||
本文URL | https://tohoku.repo.nii.ac.jp/record/133200/files/SHIMADA-Keita-2020Tour01-130.pdf | |||||
ラベル | SHIMADA-Keita-2020Tour01-130.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 1.7 MB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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