WEKO3
アイテム
単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 ―紫外線援用テープ研削法の提案―
http://hdl.handle.net/10097/00130590
http://hdl.handle.net/10097/001305901114fdcf-d7b0-4e68-a007-e251aa2eab33
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
SHIMADA-Keita-2020Tour01-130.pdf (1.7 MB)
|
|
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2021-03-05 | |||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||
タイトル | 単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 ―紫外線援用テープ研削法の提案― | |||||||||||||
言語 | ||||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
資源タイプ | journal article | |||||||||||||
著者 |
鷹巣, 良史
× 鷹巣, 良史
× 嶋田, 慶太
× 水谷, 正義
× 厨川, 常元
|
|||||||||||||
書誌情報 |
砥粒加工学会誌 巻 63, 号 11, p. 569-574, 発行日 2019-11-01 |
|||||||||||||
ISSN | ||||||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
収録物識別子 | 0914-2703 | |||||||||||||
DOI | ||||||||||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||
識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
関連識別子 | 10.11420/jsat.63.569 | |||||||||||||
著者版フラグ | ||||||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
出版者 | ||||||||||||||
出版者 | 砥粒加工学会 | |||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
内容記述 | 学術論文(Ariticle) | |||||||||||||
登録日 | ||||||||||||||
日付 | 2021-03-05 | |||||||||||||
日付タイプ | Created | |||||||||||||
公開日(投稿完了日) | ||||||||||||||
日付 | 2021-03-05 | |||||||||||||
日付タイプ | Created | |||||||||||||
発行日 | ||||||||||||||
日付 | 2019-11-01 | |||||||||||||
日付タイプ | Created | |||||||||||||
公開範囲 | ||||||||||||||
値 | 学外 |