WEKO3
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Degradation of interface integrity between a high-k dielectric thin film and a gate electrode due to excess oxygen in the film
http://hdl.handle.net/10097/46403
http://hdl.handle.net/10097/46403de42278c-da2c-416d-881a-0104a0dcb7d0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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10.1109-IRPS.2009.5173282.pdf (1.1 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-04-21 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Degradation of interface integrity between a high-k dielectric thin film and a gate electrode due to excess oxygen in the film | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | High-k Gate Dielectrics | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Band Gap | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Point Defects | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Residual Stress | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Hafnium Oxide | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Quantum Chemical Molecular Dynamics | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Synchrotronradiation Photoemission Spectroscopy | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
Miura, Hideo
× Miura, Hideo
× Suzuki, Ken
× Ito, Yuta
× Samukawa, Seiji
× Kubota, Tomonori
× Ikoma, Toru
× Yoshikawa, Hideki
× Ueda, Shigenori
× Yamashita, Yoshiyuki
× Kobayashi, Keisuke
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| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | 65482 | |||||||||||||||||||||||||
| 姓名 | 三浦, 英生 | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | IEEE CFP09RPS-CDR 47th Annual International Reliability Physics Symposium, Montreal, 2009 | |||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
IEEE International Reliability Physics Symposium, 2009, 47th 巻 2009, p. 376-381, 発行日 2009 |
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| ISBN | ||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | ISBN | |||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 978-1-4244-2888-5 | |||||||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 10.1109/IRPS.2009.5173282 | |||||||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Institute of Electrical and Electronics Engineers | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 学術論文 (Article) | |||||||||||||||||||||||||
| 登録日 | ||||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2010-04-21 | |||||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||||
| 公開日（投稿完了日） | ||||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2010-04-21 | |||||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||||
| 発行日 | ||||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2009 | |||||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 1085536 bytes | |||||||||||||||||||||||||
| 公開範囲 | ||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 学外 | |||||||||||||||||||||||||
| 大学情報DB画面区分 | ||||||||||||||||||||||||||
| 値 | K020 | |||||||||||||||||||||||||
| 大学情報DBリンク番号 | ||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 556045 | |||||||||||||||||||||||||
| 大学情報DBリポジトリ区分 | ||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 許諾 | |||||||||||||||||||||||||
| 更新日 | ||||||||||||||||||||||||||
| 日付 | 2010-04-21 | |||||||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||||||||||
