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Research on Ultraclean Wet Technology for ULSI Silicon Devices(ULSI用高性能ウェットプロセスの研究)
http://hdl.handle.net/10097/7377
http://hdl.handle.net/10097/73774e92835e-9581-4221-8b79-b8756fa4d263
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
T1H092104.pdf (310.3 kB)
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| Item type | その他 / Others(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2006-12-15 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Research on Ultraclean Wet Technology for ULSI Silicon Devices(ULSI用高性能ウェットプロセスの研究) | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_1843 | |||||||
| 資源タイプ | other | |||||||
| 著者 |
金, 鍾秀
× 金, 鍾秀
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| 書誌情報 | 号 2104, 発行日 1997 | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 博士学位論文の要旨及び審査結果の要旨 (Summary of Thesis(DR)) | |||||||
| 登録日 | ||||||||
| 日付 | 2006-12-15 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| 公開日（投稿完了日） | ||||||||
| 日付 | 2006-12-15 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| 発行日 | ||||||||
| 日付 | 1997 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 310295 bytes | |||||||
| 識別子 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | T1H092104 | |||||||
| 公開範囲 | ||||||||
| 値 | 学外 | |||||||
| CDナンバー | ||||||||
| 値 | 001 | |||||||
| 管理数 | ||||||||
| 値 | 0902 | |||||||
| 著者所属 | ||||||||
| 値 | T | |||||||
| 更新日 | ||||||||
| 日付 | 2006-12-15 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| 学位の種別 | ||||||||
| 値 | 課程 | |||||||
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Cite as
金, 鍾秀, 1997, Research on Ultraclean Wet Technology for ULSI Silicon Devices(ULSI用高性能ウェットプロセスの研究).
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