WEKO3
アイテム
SFM-IV Method for Characterizing Sub-Surface Interfaces of Semiconductor Devices(Interfaces by various techniques)
https://doi.org/10.50974/00043816
https://doi.org/10.50974/00043816f313fbf4-99b2-48d9-90e6-9f56458ed66d
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||
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公開日 | 2008-05-02 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | SFM-IV Method for Characterizing Sub-Surface Interfaces of Semiconductor Devices(Interfaces by various techniques) | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | eng | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | scanning force microscopy | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | resonant tunneling diode | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | negative difference resistance | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | quantized point contact | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | subsurface | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||
ID登録 | ||||||||
ID登録 | 10.50974/00043816 | |||||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||||
著者 |
Tanimoto, Masafumi
× Tanimoto, Masafumi
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抄録 | ||||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||||
内容記述 | We demonstrate that a novel method of current-voltage (I-V) spectra measurement by scanning force microscopy (SFM) reveals subsurface local electrical characteristics of resonant tunneling diodes (RTDs) on a nanometer scale. Measured SFM I-V spectra of RTDs show negative differential resistance features, and the spatial resolution of this method was found to be 20 nm. Experimental evidence for the quantized nature of an SFM pointcontact was observed for the first time. High spatial resolution of this method was confirmed by a simple calculation for the area of current flow through RTD. | |||||||
書誌情報 |
Science reports of the Research Institutes, Tohoku University. Ser. A, Physics, chemistry and metallurgy 巻 44, 号 2, p. 181-185, 発行日 1997-03-31 |
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ISSN | ||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
収録物識別子 | 00408808 | |||||||
書誌レコードID | ||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
収録物識別子 | AA00836167 | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | application/pdf | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
出版者 | ||||||||
出版者 | Tohoku University | |||||||
資源タイプ | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 紀要類(bulletin) | |||||||
登録日 | ||||||||
日付 | 2008-05-02 | |||||||
日付タイプ | Created | |||||||
公開日(投稿完了日) | ||||||||
日付 | 2008-05-02 | |||||||
日付タイプ | Created | |||||||
発行日 | ||||||||
日付 | 1997-03-31 | |||||||
日付タイプ | Created | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 623242 bytes | |||||||
公開範囲 | ||||||||
値 | 学外 | |||||||
更新日 | ||||||||
日付 | 2010-01-27 | |||||||
日付タイプ | Created |