Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
公開日 |
2010-04-21 |
タイトル |
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タイトル |
Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass |
言語 |
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言語 |
eng |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
著者 |
Li, Xinghua
Abe, Takashi
Liu, Yongxun
Esashi, Masayoshi
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著者別名 |
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姓名 |
江刺, 正喜 |
内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13~H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン) |
書誌情報 |
Journal of Microelectromechanical Systems
巻 11,
号 6,
p. 625-630,
発行日 2002
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ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1057-7157 |
DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.1109/JMEMS.2002.805211 |
フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
出版者 |
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出版者 |
Institute of Electrical and Electronics Engineers |
資源タイプ |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
学術論文 (Article) |
登録日 |
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日付 |
2010-04-21 |
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日付タイプ |
Created |
公開日(投稿完了日) |
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日付 |
2010-04-21 |
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日付タイプ |
Created |
発行日 |
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日付 |
2002 |
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日付タイプ |
Created |
フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
1034836 bytes |
公開範囲 |
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値 |
学外 |
大学情報DBリポジトリ区分 |
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値 |
許諾 |
更新日 |
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日付 |
2010-04-21 |
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日付タイプ |
Created |