Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
公開日 |
2012-01-27 |
タイトル |
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タイトル |
顕微ラマン散乱による窒化アルミニウム半導体製造装置用部品の耐食性に関する研究 |
言語 |
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言語 |
jpn |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
著者 |
藤森, 宏高
田村, 洋二
針田, 彬
井奥, 洪二
垣花, 眞人
吉村, 昌弘
後藤, 誠史
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著者(ヨミ) |
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姓名 |
FUJIMORI, Hirotaka |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
TAMURA, Yoji |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
HARITA, Akira |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
IOKU, Koji |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
KAKIHANA, Masato |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
YOSHIMURA, Masahiro |
著者(ヨミ) |
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姓名 |
GOTO, Seishi |
書誌情報 |
日本セラミックス協会学術論文誌
巻 111,
号 1300,
p. 935-938,
発行日 2003
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ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0914-5400 |
権利 |
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権利情報 |
日本セラミックス協会 |
権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
その他の言語のタイトル |
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その他のタイトル |
Corrosion Resistance of Aluminum Nitride as Semiconductor Equipment Parts Studied by Micro-Raman Spectroscopy |
出版者 |
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出版者 |
日本セラミックス協会 |
資源タイプ |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
学術論文 (Article) |
登録日 |
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日付 |
2012-01-27 |
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日付タイプ |
Created |
公開日(投稿完了日) |
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日付 |
2012-01-27 |
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日付タイプ |
Created |
発行日 |
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日付 |
2003 |
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日付タイプ |
Created |
公開範囲 |
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値 |
学外 |
登録者コメント |
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井奥 洪二 |
大学情報DB画面区分 |
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値 |
K020 |
大学情報DBリンク番号 |
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87270 |
大学情報DBリポジトリ区分 |
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値 |
許諾 |
更新日 |
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日付 |
2012-01-27 |
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日付タイプ |
Created |